半導体製造装置には信号用、電源用をはじめ、多様なハーネスが使用されています。半導体製造装置にもよりますが、数千本以上のハーネスが使用されることも多い設備となります。今回は、半導体製造装置に使用されることが多いワイヤーハーネスについて紹介します。
半導体製造装置に使用されるハーネスの特長
半導体製造装置には、多品種のコネクタが使用されます。コネクタが増えるにつれてコンタクトが増え、余剰在庫を抱えるリスクや在庫管理の煩雑化などが課題になります。また対応できる加工先が少なくなるという点もあり、コンタクトの単一化が可能になるコネクタが使用される傾向にあります。
また、回路識別のため、マークチューブやマークバンド、ラベル印字が多用されます。
また、半導体製造装置用の電源線については、高圧電源の負荷に耐えられるように、AWG2以下の太さの電線が使用されることも多くなります。AWG10以下になると接続できるコネクタが少なくなるため、丸端子で電源盤に接続し使用します。
半導体製造装置のハーネスで求められること
前述したとおり、半導体製造装置には時に数千本を優に超えるワイヤーハーネスが使用されるので、現場での配線作業工数が増加したり、配線に伴うヒューマンエラーの発生が懸念されます。
そのため、ハーネス加工メーカー側で、多回路が組まれた状態でハーネス加工し、納入することも求められます。
単品のハーネスではなく、ASSYのハーネスを納入することで
① ワイヤーハーネスの配線工数の低減
② 接続間違いなど、ヒューマンエラーの回避
③ 発注管理、図面管理等、管理工数の低減
④ 品質検査工数の低減
⑤ 配線の取り回しが綺麗で、見栄えがよくなる
などのメリットを提供することができます。
半導体製造装置用ハーネス 加工事例
ここからは、当社が加工した半導体製造装置ハーネスの事例を紹介します。
半導体製造装置用721-204/037-000搭載 角型コネクタハーネス
コネクタメーカー：WAGO
コネクタ型番 ：721-204/037-000
端子メーカー ：WAGO
端子型番 ：216-206
半導体製造装置用N4E0-SOCKET-S-300搭載 ナイロンコネクタハーネス
コネクタメーカー：CKD
コネクタ型番 ：N4E0-SOCKET-S-300
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